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本設備用於啟動感應耦合電漿時調節氣體流量，長期使用，精確度不佳，誤差超過合理值而無法修復，且逾使用年限，如有需求者請於6/9前電洽楊昇府博士(分機7398)，若無人領，自公告日起30天後逕行報廢。